Tel:048-533-4888
fax:048-533-4848
受付:8:30~17:30 休業日:土日祝

半導体メンテナンス

半導体装置及び機器メンテナンス

洗浄

  

------------------------------------------------------------------------------

薬品洗浄
母材にやさしい生成物の除去を行う各種薬剤を選択し実施します。

物理的洗浄
ブラストマシーンまたは手作業での生成物の除去を行い、超音波洗浄等の仕上げを実施します。

部品精密洗浄
純水リンス、脱脂洗浄、超音波洗浄の組合わせで、超高真空のご使用に耐えられる仕上げをして、真空パックにて納品します。

設備

 

------------------------------------------------------------------------------

洗浄槽各種(最大1200L、PP製、SUS製)
定温乾燥機
ヘリウムリークディテクター
乾式ブラストマシーン
超音波洗浄機
純水製造装置
排気スクラバー
運搬機材(ハンドトラック、ジャッキ,養生資材等)
エアサス4tトラック

実績

  

------------------------------------------------------------------------------

MBE装置
洗浄メンテナンス、現地メンテナンス、移設
機器メンテナンス(イオンポンプ、R‐Heed、マニピュレーター、Kセル等)

MO-CVD装置
洗浄メンテナンス、現地メンテナンス、移設
機器メンテナンス(水冷トラップ、除害筒、配管等)

機器部品メンテナンス
各種バルブ、蒸着装置防着板、ECR冶具、イオンソース、シャワーヘッド、カーボン、モリブデン、タンタル、石英部品等

機器等の改造

  



------------------------------------------------------------------------------

お客様との打ち合わせにより機器の設計、製作、改造等を行います。
(カーボン、モリブデン、タンタル等のレアメタル及び石英部品等)






<< 前のページに戻る

中古機器買取・販売

↑ PAGE TOP