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半導体装置及び機器メンテナンス

*洗浄方法

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薬品洗浄
母材にやさしい生成物の除去を行う各種薬剤を選択し実施します。
物理的洗浄
ブラストマシーンまたは手作業での生成物の除去を行い、超音波洗浄等の仕上げを実施します。
部品精密洗浄
純水リンス、脱脂洗浄、超音波洗浄の組合わせで、超高真空のご使用に耐えられる仕上げをして、真空パックにて納品します。

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